Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-143306" >
3D printing of sili...
-
Fischer, Andreas C.KTH,Mikro- och nanosystemteknik
(författare)
3D printing of silicon micro and nano structures by ion implantation, silicon deposition, and selective silicon etching
- Artikel/kapitelEngelska2013
Förlag, utgivningsår, omfång ...
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-143306
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-143306URI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:kon swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
QC 20140320
-
A method for additive layer-by-layer fabrication of arbitrarily shaped 3D silicon micro and nano structures is reported. The fabrication is based on alternating steps of chemical vapor deposition of silicon and local implantation of gallium ions by focused ion beam (FIB) writing. In a final step, the defined 3D structures are formed by etching the silicon in potassium hydroxide (KOH), in which the local ion implantation provides the etching selectivity. The proposed technology could change and greatly simplify the fabrication of many MEMS, NEMS, and silicon photonic devices without requiring a fully equipped semiconductor cleanroom. This layer-by-layer fabrication method is in principle also viable for the implementation of 3D structures in semiconductors other than silicon.
Ämnesord och genrebeteckningar
-
3D printing
-
Focused ion beam
-
Ion implantation
-
Layered fabrication
-
Microstructures
-
Nanostructures
-
Silicon
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Niklaus, FrankKTH,Mikro- och nanosystemteknik(Swepub:kth)u1bcu8r2
(författare)
-
Gylfason, Kristinn BjörgvinKTH,Mikro- och nanosystemteknik(Swepub:kth)u1v3y7u7
(författare)
-
Stemme, GöranKTH,Mikro- och nanosystemteknik(Swepub:kth)u1oyebfq
(författare)
-
KTHMikro- och nanosystemteknik
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Technical Paper - Society of Manufacturing Engineers
Internetlänk