Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-14837" >
Lateral encroachmen...
Lateral encroachment of Ni-silicides in the source/drain regions on ultrathin silicon-on-insulator
-
- Seger, Johan (författare)
- KTH,Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT
-
- Hellström, Per-Erik (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
Lu, J. (författare)
-
visa fler...
-
- Malm, B. Gunnar (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
- von Haartman, Martin (författare)
- KTH,Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT
-
- Östling, Mikael (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
- Zhang, Shi-Li (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- AIP Publishing, 2005
- 2005
- Engelska.
-
Ingår i: Applied Physics Letters. - : AIP Publishing. - 0003-6951 .- 1077-3118. ; 86:25
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Lateral growth of Ni silicide towards the channel region of metal-oxide-semiconductor transistors (MOSFETs) fabricated on ultrathin silicon-on-insulator (SOI) is characterized using SOI wafers with a 20-nm-thick surface Si layer. With a 10-nm-thick Ni film for silicide formation, p-channel MOSFETs displaying ordinary device characteristics with silicided p(+) source/drain regions were demonstrated. No lateral growth of NiSix under gate isolation spacers was found according to electron microscopy. When the Ni film was 20 nm thick, Schottky contact source/drain MOSFETs showing typical ambipolar characteristics were obtained. A severe lateral encroachment of NiSix into the channel region leading to an increased gate leakage was revealed, while no detectable voiding at the silicide front towards the Si channel was observed.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences (hsv//eng)
Nyckelord
- film formation
- thin-films
- ni2si
- diffusion
- mosfets
- couples
- Physics
- Fysik
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas