Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-151171" >
Electrical properti...
Electrical properties of high-k LaLuO3 gate oxide for SOI MOSFETs
-
Gomeniuk, Y. Y. (författare)
-
Gomeniuk, Y. V. (författare)
-
Nazarov, A. N. (författare)
-
visa fler...
-
Hurley, P. K. (författare)
-
Cherkaoui, K. (författare)
-
Monaghan, S. (författare)
-
- Hellström, Per-Erik (författare)
- KTH
-
Gottlob, H. D. B. (författare)
-
Schubert, J. (författare)
-
Lopes, J. M. J. (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2011
- 2011
- Engelska.
-
Ingår i: 6th International Workshop on Semiconductor-on-Insulator Materials and Devices. - 9783037851784 ; , s. 87-93
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.4...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- The paper presents the results of electrical characterization of MOS capacitors and SOI MOSFETs with novel high-? LaLuO3 dielectric as a gate oxide. The energy distribution of interface state density at LaLuO 3/Si interface is presented and typical maxima of 1.2×10 11 eV-1cm-2 was found at about 0.25 eV from the silicon valence band. The output and transfer characteristics of the n- and p-MOSFET (channel length and width were 1 μm and 50 μm, respectively) are presented. The front channel mobility appeared to be 126 cm2V -1s-1 and 70 cm2V-1s-1 for n- and p-MOSFET, respectively. The front channel threshold voltages as well as the density of states at the back interface are presented.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Materialteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Materials Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- Channel mobility
- High-k oxide
- Interface states density
- LaLuO3
- Lanthanum lutetium oxide
- Molecular beam deposition MBD
- MOSFET
- SOI
- Threshold voltage
- Transconductance
- High-k oxides
- LaLuO<sub>3</sub>
- MOS-FET
- Characterization
- Chemical modification
- Electric properties
- Gates (transistor)
- Insulating materials
- Lanthanum oxides
- MOS capacitors
- Semiconductor devices
- MOSFET devices
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Gomeniuk, Y. Y.
-
Gomeniuk, Y. V.
-
Nazarov, A. N.
-
Hurley, P. K.
-
Cherkaoui, K.
-
Monaghan, S.
-
visa fler...
-
Hellström, Per-E ...
-
Gottlob, H. D. B ...
-
Schubert, J.
-
Lopes, J. M. J.
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Materialteknik
- Artiklar i publikationen
-
6th Internationa ...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan