Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-15247" >
Excimer laser annea...
-
Monakhov, E. V.
(författare)
Excimer laser annealing of B and BF2 implanted Si
- Artikel/kapitelEngelska2005
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
Elsevier BV,2005
-
printrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-15247
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-15247URI
-
https://doi.org/10.1016/j.mseb.2005.08.059DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
QC 20100525 QC 20111012
-
We have performed a comparative study of B re-distribution and electrical activation after excimer laser annealing (ELA) of B and BF2 implanted Si. Chemical B concentration and electrical activation profiles were measured by secondary ion mass spectrometry (SIMS) and spreading resistance profiling (SRP), respectively. SIMS data demonstrate that the presence of F does not influence significantly the re-distribution of B during ELA. A dramatic contrast, however, can be observed in the electrical activation of the dopant in the B and BF2 implanted samples. While almost 100% electrical activation of B occurs in the B implanted samples, only 20-50% of the dopant can be activated by ELA in the BF2 implanted sample. Possible mechanisms causing the deactivation of B in the BF2 implanted samples after ELA are discussed.
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Svensson, B. G.
(författare)
-
Linnarsson, Margareta K.KTH,Mikroelektronik och tillämpad fysik, MAP(Swepub:kth)u1x6y4ru
(författare)
-
La Magna, A.
(författare)
-
Italia, M.
(författare)
-
Privitera, V.
(författare)
-
Fortunato, G.
(författare)
-
Cuscuna, M.
(författare)
-
Mariucci, L.
(författare)
-
KTHMikroelektronik och tillämpad fysik, MAP
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Materials Science & Engineering: Elsevier BV124, s. 232-2340921-51071873-4944
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas