SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-161287"
 

Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-161287" > B implantation in 6...

B implantation in 6H-SiC : Lattice damage recovery and implant activation upon high-temperature annealing

Valcheva, E (författare)
Paskova, T (författare)
Ivanov, I G (författare)
visa fler...
Yakimova, R (författare)
Wahab, Q (författare)
Savage, S (författare)
Nordell, N (författare)
Harris, C I (författare)
visa färre...
American Vacuum Society, 1999
1999
Engelska.
Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology B. - : American Vacuum Society. - 1071-1023 .- 1520-8567. ; 17:3, s. 1040-1044
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Ämnesord
Stäng  

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
art (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy