Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-199833" >
Maskless Manufactur...
Maskless Manufacturing of Through Glass Vias (TGVs) and Their Test Structures
-
- Laakso, Miku, 1989- (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
- Liljeholm, Jessica (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik,Silex Microsystems AB, Järfälla, SWEDEN
-
- Fischer, Andreas (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik,Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Germany
-
visa fler...
-
- Stemme, Göran (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
- Ebefors, Thorbjörn (författare)
- Silex Microsystems AB, Järfälla, SWEDEN
-
- Niklaus, Frank (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2017
- 2017
- Engelska.
-
Ingår i: Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). - 9781509050789 ; , s. 753-756
- Relaterad länk:
-
http://ieeexplore.ie...
-
visa fler...
-
https://kth.diva-por... (primary) (Raw object)
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Through glass vias (TGVs) are a key component in glass-based interposers and microelectromechanical-system lid wafers. Magnetic-field-assisted self-assembly has been demonstrated earlier in fabrication of through silicon vias. Here we present an entirely maskless TGV fabrication process utilizing magnetic assembly. Femtosecond laser is used for ablative direct patterning of surface metal layers and for exposing the TGV conductors after wafer thinning. The proposed TGV structure is shown to be electrically functional by measuring the TGV resistance values.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- Electrical Engineering
- Elektro- och systemteknik
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas