onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-211302"
Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-211302" > A Wafer-Scale Self-...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Elahipanah, Hossein,1982-KTH,Elektronik,Electronics (författare)
A Wafer-Scale Self-Aligned Ni-Silicide (SALICIDE) Low-Ohmic Contact Technology on n-type 4H-SiC
- Artikel/kapitelEngelska2017
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- ECS,2017
- electronicrdacarrier
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-211302
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-211302URI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
- Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- QC 20170731
- A self-aligned nickel (Ni) silicide process for n-type Ohmic contacts on 4H-SiC is demonstrated and electrically verified in a wafer-scale device process. The key point is to anneal the contacts in two steps. The process is successfully employed on wafer-level and a contact resistivity below 5×10-6 Ω·cm2 is achieved. The influence of the proposed process on the oxide quality is investigated and no significant effect is observed. The proposed self-aligned technology eliminates the undesirable effects of the lift-off process. Moreover, it is simple, fast, and manufacturable at wafer-scale, which saves time and cost.
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Asadollahi, AliKTH,Elektronik(Swepub:kth)u1vtio7s (författare)
- Ekström, MattiasKTH,Elektronik(Swepub:kth)u1l6zf9x (författare)
- Salemi, Arash,1976-KTH,Elektronik(Swepub:kth)u14aqahn (författare)
- Zetterling, Carl-MikaelKTH,Elektronik(Swepub:kth)u15o61ns (författare)
- Östling, MikaelKTH,Elektronik(Swepub:kth)u1u0kle4 (författare)
- KTHElektronik (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:ECS Journal of Solid State Science and Technology: ECS6:4, s. 197-2002162-87692162-8777
Internetlänk
Hitta via bibliotek
- ECS Journal of Solid State Science and Technology (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Elahipanah, Hoss ...
- Asadollahi, Ali
- Ekström, Mattias
- Salemi, Arash, 1 ...
- Zetterling, Carl ...
- Östling, Mikael
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Elektroteknik oc ...
- Artiklar i publikationen
- ECS Journal of S ...
- Av lärosätet
- Kungliga Tekniska Högskolan
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
