Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-26894" >
On Epitaxy of Ultra...
On Epitaxy of Ultrathin Ni1-xPtx Silicide Films on Si(001)
-
- Lu, Jun (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan
-
- Luo, Jun (författare)
- Uppsala universitet,KTH,Materialfysik,Tillämpad materialvetenskap,Fudan University
-
- Zhang, Shi-Li (författare)
- Uppsala universitet,KTH,Materialfysik,Fasta tillståndets elektronik,Fudan University
-
visa fler...
-
- Östling, Mikael (författare)
- KTH,Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT),Royal Institute Technology
-
- Hultman, Lars (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- The Electrochemical Society, 2010
- 2010
- Engelska.
-
Ingår i: Electrochemical and solid-state letters. - : The Electrochemical Society. - 1099-0062 .- 1944-8775. ; 13:10, s. H360-H362
- Relaterad länk:
-
http://liu.diva-port...
-
visa fler...
-
https://liu.diva-por... (primary) (Raw object)
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Epitaxial Ni(Pt)Si2-y (y < 1) films readily grow upon thermal treatment of 2 nm thick Ni and Ni0.96Pt0.04 films deposited on Si(001). For annealing at 500 degrees C, the films are 5.4-5.6 nm thick with 61-70 mu cm in resistivity. At 750 degrees C, the epitaxial Ni(Pt)Si2-y films become 6.1-6.2 nm thick with a resistivity of 42-44 mu cm. Structural analysis reveals twins, facet wedges, and thickness inhomogeneities in the films grown at 500 degrees C. For higher temperature, an almost defect-free NiSi2-y film with a flat and sharp interface is formed. The presence of Pt makes the aforementioned imperfections more persistent.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
- NATURVETENSKAP -- Fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences (hsv//eng)
Nyckelord
- annealing
- electrical resistivity
- epitaxial layers
- nickel compounds
- platinum compounds
- sputter deposition
- Electrical engineering, electronics and photonics
- Elektroteknik, elektronik och fotonik
- Physics
- TECHNOLOGY
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas