onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-29697"
Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-29697" > Damage recovery in ...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Damage recovery in ZnO by post-implantation annealing
-
- Audren, A. (författare)
- Uppsala universitet,Jonfysik
-
- Hallén, Anders (författare)
- Uppsala universitet,KTH,Integrerade komponenter och kretsar,Jonfysik
-
- Linnarsson, Margareta K. (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
- visa fler...
- visa färre...
- (creator_code:org_t)
- Elsevier BV, 2010
- 2010
- Engelska.
- Ingår i: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B. - : Elsevier BV. - 0168-583X .- 1872-9584. ; 268:11-12, s. 1842-1846
- Tidskriftsartikel (övrigt vetenskapligt/konstnärligt)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- ZnO bulk samples were implanted with 200 key-Co ions at room temperature with two fluences, 1 x 10(16) and 8 x 10(16) cm(-2), and then annealed in air for 30 min at different temperatures up to 900 degrees C. After the implantation and each annealing step, the samples were analyzed by Rutherford backscattering spectrometry (RBS) in random and channeling directions to follow the evolution of the disorder profile. The RBS spectra reveal that disorder is created during implantation in proportion to the Co fluence. The thermal treatments induce a disorder recovery, which is however, not complete after annealing at 900 degrees C, where about 15% of the damage remains. To study the Co profile evolution during annealing, the samples were, in addition to RBS, characterized by secondary ion mass spectrometry (SIMS). The results show that Co diffusion starts at 800 degrees C, but also that a very different behavior is seen for Co concentrations below and above the solubility limit. (C) 2010 Elsevier B.V. All rights reserved.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Subatomär fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Subatomic Physics (hsv//eng)
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Atom- och molekylfysik och optik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Atom and Molecular Physics and Optics (hsv//eng)
Nyckelord
- ZnO
- Ion implantation
- RBS/channeling
- SIMS
- Radiation damage
- Dopant diffusion
- Nuclear physics
- Kärnfysik
- Atomic and molecular physics
- Atom- och molekylfysik
- Ion physics
Publikations- och innehållstyp
- vet (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
- Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Audren, A.
- Hallén, Anders
- Linnarsson, Marg ...
- Possnert, Göran
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
- NATURVETENSKAP
- och Fysik
- och Subatomär fysik
-
- NATURVETENSKAP
- NATURVETENSKAP
- och Fysik
- och Atom och molekyl ...
- Artiklar i publikationen
- Nuclear Instrume ...
- Av lärosätet
- Kungliga Tekniska Högskolan
- Uppsala universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
