Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-29929" >
Dopant incorporatio...
-
Azarov, AlexanderKTH,Mikroelektronik och tillämpad fysik, MAP
(författare)
Dopant incorporation in thin strained Si layers implanted with Sb
- Artikel/kapitelEngelska2010
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
Elsevier BV,2010
-
printrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-29929
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-29929URI
-
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2009.09.160DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
QC 20110117 Symposium on Silicon and Germanium Issues for Future CMOS Devices held at the 2009 E-MRS Spring Meeting, Strasbourg, FRANCE, JUN 08-12, 2009
-
The effect of tensile strain on Sb incorporation in Si and its activation during post-implantation annealing has been Studied by a combination of Rutherford backscattering/channeling spectrometry, secondary ion mass spectrometry. X-ray diffraction and 4-point probe measurements Our results show that, for Sb implanted samples a tensile strain has an important role for dopant behavior Particularly, increasing the tensile strain in the Si layer from 0 to 0 8% leads to an enhancement of the fraction of incorporated Sb atoms in substitutional sites already during implantation from similar to 7 to 30% Furthermore, 0 8% strain in antimony doped Si gives similar to 20% reduction in the sheet resistance in comparison to the unstrained sample.
Ämnesord och genrebeteckningar
-
Strained Si
-
Ion implantation
-
Sb incorporation
-
TECHNOLOGY
-
TEKNIKVETENSKAP
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Zamani, AtiehKTH,Mikroelektronik och tillämpad fysik, MAP(Swepub:kth)u18l4nyo
(författare)
-
Radamson, Henry H.KTH,Mikroelektronik och tillämpad fysik, MAP(Swepub:kth)u1g2cqgr
(författare)
-
Vines, L.
(författare)
-
Kuznetsov, A. Yu.
(författare)
-
Hallén, AndersKTH,Mikroelektronik och tillämpad fysik, MAP(Swepub:kth)u11ywmz1
(författare)
-
KTHMikroelektronik och tillämpad fysik, MAP
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Thin Solid Films: Elsevier BV518:9, s. 2474-24770040-60901879-2731
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas