A Resonant Graphene NEMS Vibrometer

Moreno-Garcia, D.Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL),Swiss Federal Institute of Technology in Lausanne (EPFL) (författare)

QC 20230227
Measuring vibrations is essential to ensuring building structural safety and machine stability. Predictive maintenance is a central internet of things (IoT) application within the new industrial revolution, where sustainability and performance increase over time are going to be paramount. To reduce the footprint and cost of vibration sensors while improving their performance, new sensor concepts are needed. Here, double-layer graphene membranes are utilized with a suspended silicon proof demonstrating their operation as resonant vibration sensors that show outstanding performance for a given footprint and proof mass. The unveiled sensing effect is based on resonant transduction and has important implications for experimental studies involving thin nano and micro mechanical resonators that are excited by an external shaker.

Fan, XugeKTH,Mikro- och nanosystemteknik,Adv. Research Institute of Multidisciplinary Sciences, Beijing Institute of Technology, Beijing, 100081 China,Kungliga Tekniska Högskolan (KTH),Royal Institute of Technology (KTH),Beijing Institute of Technology(Swepub:kth)u16v405i (författare)
Smith, Anderson David,1985Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)smdavid (författare)
Lemme, M. C.Rheinisch-Westfaelische Technische Hochschule Aachen,RWTH Aachen University (författare)
Messina, V.Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL),Swiss Federal Institute of Technology in Lausanne (EPFL) (författare)
Martin-Olmos, C. (författare)
Niklaus, Frank,1971-KTH,Mikro- och nanosystemteknik,Kungliga Tekniska Högskolan (KTH),Royal Institute of Technology (KTH)(Swepub:kth)u1bcu8r2 (författare)
Villanueva, L. G.Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL),Swiss Federal Institute of Technology in Lausanne (EPFL) (författare)
Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL)Mikro- och nanosystemteknik (creator_code:org_t)

Av författaren/redakt...: Moreno-Garcia, D ...; Fan, Xuge; Smith, Anderson ...; Lemme, M. C.; Messina, V.; Martin-Olmos, C.; visa fler...; Niklaus, Frank, ...; Villanueva, L. G ...; visa färre...

Om ämnet

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER: TEKNIK OCH TEKNO ...; och Annan teknik; och Övrig annan tekn ...

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER: TEKNIK OCH TEKNO ...; och Kemiteknik; och Annan kemiteknik

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER: TEKNIK OCH TEKNO ...; och Elektroteknik oc ...; och Annan elektrotek ...

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.