Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-38080" >
Reduced self-heatin...
Reduced self-heating by strained silicon substrate engineering
-
O'Neill, A. (författare)
-
Agaiby, R. (författare)
-
Olsen, S. (författare)
-
visa fler...
-
Yang, Y. (författare)
-
- Hellström, Per-Erik (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
- Östling, Mikael (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
Oehme, M. (författare)
-
Lyutovich, K. (författare)
-
Kasper, E. (författare)
-
Eneman, G. (författare)
-
Verheyen, P. (författare)
-
Loo, R. (författare)
-
Claeys, C. (författare)
-
Fiegna, C. (författare)
-
Sangiorgi, E. (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Elsevier BV, 2008
- 2008
- Engelska.
-
Ingår i: Applied Surface Science. - : Elsevier BV. - 0169-4332 .- 1873-5584. ; 254:19, s. 6182-6185
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Substrate engineering innovations such as SOI and the use of Si/SiGe virtual substrates become necessary in order to maintain performance leverage of integrated circuits with continued scaling. The relevance of thermal effects in device design increases since the thermal conductivity of these new materials is poor. The electrical performance of devices fabricated on thin virtual substrates grown by two different techniques is presented. It is found that self-heating is reduced and that thermal resistance measurements agree with modelling predictions. The reduction in performance enhancement seen in many strained Si MOSFETs is found here to be largely due to self-heating effects, rather than parasitics or the loss of strain.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- strained silicon
- self heating
- MOSFET
- Electrical engineering, electronics and photonics
- Elektroteknik, elektronik och fotonik
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
O'Neill, A.
-
Agaiby, R.
-
Olsen, S.
-
Yang, Y.
-
Hellström, Per-E ...
-
Östling, Mikael
-
visa fler...
-
Oehme, M.
-
Lyutovich, K.
-
Kasper, E.
-
Eneman, G.
-
Verheyen, P.
-
Loo, R.
-
Claeys, C.
-
Fiegna, C.
-
Sangiorgi, E.
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Elektroteknik oc ...
- Artiklar i publikationen
-
Applied Surface ...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan