SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-4959"
 

Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-4959" > Metallized and oxid...

LIBRIS Formathandbok  (Information om MARC21)
FältnamnIndikatorerMetadata
00005458naa a2200793 4500
001oai:DiVA.org:kth-4959
003SwePub
008050303s2004 | |||||||||||000 ||eng|
009oai:DiVA.org:miun-2166
009oai:DiVA.org:kth-47387
0247 a https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-49592 URI
0247 a https://doi.org/10.1109/TNS.2004.8295792 DOI
0247 a https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:miun:diva-21662 URI
0247 a https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-473872 URI
040 a (SwePub)kthd (SwePub)miun
041 a engb eng
042 9 SwePub
072 7a ref2 swepub-contenttype
072 7a art2 swepub-publicationtype
1001 a Badel, Xavieru KTH,Mikroelektronik och informationsteknik, IMIT4 aut0 (Swepub:kth)u1ds8vw2
2451 0a Metallized and oxidized silicon macropore arrays filled with a scintillator for CCD-based X-ray imaging detectors
264 1b IEEE,c 2004
338 a print2 rdacarrier
500 a QC 20100831. Konferens: Nuclear Science Symposium/Medical Imaging Conference/13th International Workshop on Room-Temperature Semiconductor X-and Gamma-Ray Dectectors/Symposium on Nuclear Power Systems, Portland, OR, OCT 19-25, 2003.
500 a Nuclear Science Symposium/Medical Imaging Conference/13th International Workshop on Room-Temperature Semiconductor X-and Gamma-Ray Dectectors/Symposium on Nuclear Power Systems, oct 19-25, 2003, Portland, OR
500 a QC 20111109
520 a Silicon charge-coupled devices (CCDs) covered with a scintillating film are now available on the market for use in digital medical imaging. However, these devices could still be improved in terms of sensitivity and especially spatial resolution by coating the CCD with an array of scintillating waveguides. In this paper, such waveguides were fabricated by first etching pores in silicon, then performing metallization or oxidation of the pore walls and finally filling the pores with CsI(TI). The resulting structures were observed using scanning electron microscopy and tested under X-ray exposure. Theoretical efficiencies of macropore arrays filled with CsI(TI) were also calculated, indicating that the optimal pore depth for metallized macropore arrays is about 80 mum while it is around 350 mum for oxidized ones. This result, together with the roughness of the metal coating, explains why lower SNR values were measured with the metallized macropores. Indeed, the macropore arrays had depths in the range of 210-390 mum, which is favorable to oxidized structures.
650 7a TEKNIK OCH TEKNOLOGIERx Elektroteknik och elektronikx Annan elektroteknik och elektronik0 (SwePub)202992 hsv//swe
650 7a ENGINEERING AND TECHNOLOGYx Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineeringx Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering0 (SwePub)202992 hsv//eng
650 7a TEKNIK OCH TEKNOLOGIERx Elektroteknik och elektronik0 (SwePub)2022 hsv//swe
650 7a ENGINEERING AND TECHNOLOGYx Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering0 (SwePub)2022 hsv//eng
653 a CsI(TI)
653 a Pixellated detectors
653 a Scintillating wave-guides
653 a X-ray imaging
653 a Cesium compounds
653 a Imaging techniques
653 a Metallizing
653 a Optical resolving power
653 a Optical waveguides
653 a Phosphors
653 a Scanning electron microscopy
653 a Signal to noise ratio
653 a Silicon
653 a X rays
653 a CsI(Tl)
653 a Pixellated detectors
653 a Scintillating waveguides
653 a X-ray imaging
653 a Charge coupled devices
653 a Electrophysics
653 a Elektrofysik
653 a Electrical engineering, electronics and photonics
7001 a Linnros, Janu KTH,Mikroelektronik och informationsteknik, IMIT4 aut0 (Swepub:kth)u1t79mee
7001 a Kleimann, P.u LENAC, Univ.́ Claude Bernard Lyon-I, Villeurbanne4 aut
7001 a Norlin, Börjeu Mittuniversitetet,Institutionen för informationsteknologi och medier (-2013)4 aut0 (Swepub:miun)bornor
7001 a Koskiahde, E.u Metorex International Oy, Espoo4 aut
7001 a Valpas, K.u Metorex International Oy, Espoo4 aut
7001 a Nenonen, S.u Metorex International Oy, Espoo4 aut
7001 a Petersson, Stureu KTH,Mikroelektronik och informationsteknik, IMIT,Department of Microelectronics, Roy. Inst. of Technology of Sweden, Kista4 aut0 (Swepub:miun)stupet
7001 a Fröjdh, Christeru Mittuniversitetet,Institutionen för informationsteknologi och medier (-2013)4 aut0 (Swepub:miun)chrfro
7102 a KTHb Mikroelektronik och informationsteknik, IMIT4 org
7730 t IEEE Transactions on Nuclear Scienced : IEEEg 51:3, s. 1001-1005, s. 1006-1010q 51:3<1001-1005x 0018-9499x 1558-1578
7730 t 2003 IEEE NUCLEAR SCIENCE SYMPOSIUM, CONFERENCE RECORD, VOLS 1-5d : IEEEg 51:3, s. 1001-1005, s. 1006-1010q 51:3<1001-1005<1006-1010
8564 u http://ieeexplore.ieee.org/xpls/abs_all.jsp?arnumber=1351864y IEEE Xplore
8564 8u https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-4959
8564 8u https://doi.org/10.1109/TNS.2004.829579
8564 8u https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:miun:diva-2166
8564 8u https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-47387

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy