Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-50511" >
Navigation aids in ...
Navigation aids in the search for future high-k dielectrics : Physical and electrical trends
-
Engstrom, O. (författare)
-
Raeissi, B. (författare)
-
Hall, S. (författare)
-
visa fler...
-
Buiu, O. (författare)
-
- Lemme, Max C., 1970- (författare)
- AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany
-
Gottlob, H. D. B. (författare)
-
Hurley, P. K. (författare)
-
Cherkaoui, K. (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Elsevier BV, 2007
- 2007
- Engelska.
-
Ingår i: Solid-State Electronics. - : Elsevier BV. - 0038-1101 .- 1879-2405. ; 51:4, s. 622-626
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- From experimental literature data on metal oxides combined with theoretical estimates, we present empirical relations for k-values and energy band offset values, that can be used in the search for gate dielectric materials fulfilling the needs of future CMOS generations. Only a few materials investigated so far have properties meeting the demands for k and energy band offset values in the development of CMOS down to 22 nm. (c) 2007 Elsevier Ltd. All rights reserved.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Nanoteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Nano-technology (hsv//eng)
Nyckelord
- high-k dielectrics
- dielectric constant
- CMOS
- rare earth oxides
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas