Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-50511" >
Navigation aids in ...
-
Engstrom, O.
(författare)
Navigation aids in the search for future high-k dielectrics : Physical and electrical trends
- Artikel/kapitelEngelska2007
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
Elsevier BV,2007
-
printrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-50511
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-50511URI
-
https://doi.org/10.1016/j.sse.2007.02.021DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
QC 20120305
-
From experimental literature data on metal oxides combined with theoretical estimates, we present empirical relations for k-values and energy band offset values, that can be used in the search for gate dielectric materials fulfilling the needs of future CMOS generations. Only a few materials investigated so far have properties meeting the demands for k and energy band offset values in the development of CMOS down to 22 nm. (c) 2007 Elsevier Ltd. All rights reserved.
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Raeissi, B.
(författare)
-
Hall, S.
(författare)
-
Buiu, O.
(författare)
-
Lemme, Max C.,1970-AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany(Swepub:kth)u1m2eozy
(författare)
-
Gottlob, H. D. B.
(författare)
-
Hurley, P. K.
(författare)
-
Cherkaoui, K.
(författare)
-
AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Solid-State Electronics: Elsevier BV51:4, s. 622-6260038-11011879-2405
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas