Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-50516" >
CMOS integration of...
CMOS integration of epitaxial Gd(2)O(3) high-k gate dielectrics
-
Gottlob, H. D. B. (författare)
-
Echtermeyer, T. (författare)
-
Mollenhauer, T. (författare)
-
visa fler...
-
Efavi, J. K. (författare)
-
Schmidt, M. (författare)
-
Wahlbrink, T. (författare)
-
- Lemme, Max C., 1970- (författare)
- AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany
-
Kurz, H. (författare)
-
Czernohorsky, M. (författare)
-
Bugiel, E. (författare)
-
Osten, H. -J (författare)
-
Fissel, A. (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Elsevier BV, 2006
- 2006
- Engelska.
-
Ingår i: Solid-State Electronics. - : Elsevier BV. - 0038-1101 .- 1879-2405. ; 50:6, s. 979-985
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Epitaxial gadolinium oxide (Gd(2)O(3)) high-k dielectrics are investigated with respect to their CMOS compatibility in metal oxide semiconductor (MOS) capacitors and field effect transistors (MOSFETs). MOS capacitors with various gate electrodes are exposed to typical CMOS process steps and evaluated with capacitance voltage (CV) and current voltage (JV) measurements. The effects of high temperature processes on thermal stabilities of channel/dielectric and dielectric/gate electrode interfaces is studied in detail. A feasible CMOS process with epitaxial gate oxides and metal gate electrodes is identified and demonstrated by a fully functional n-MOSFET for the first time.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Nanoteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Nano-technology (hsv//eng)
Nyckelord
- high-k gate dielectric
- metal gate electrode
- epitaxial gate dielectric
- gadolinium oxide (Gd(2)O(3))
- CMOS integration
- silicon on insulator(SOI)
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Gottlob, H. D. B ...
-
Echtermeyer, T.
-
Mollenhauer, T.
-
Efavi, J. K.
-
Schmidt, M.
-
Wahlbrink, T.
-
visa fler...
-
Lemme, Max C., 1 ...
-
Kurz, H.
-
Czernohorsky, M.
-
Bugiel, E.
-
Osten, H. -J
-
Fissel, A.
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Nanoteknik
- Artiklar i publikationen
-
Solid-State Elec ...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan