Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-50536" >
Complementary metal...
Complementary metal oxide semiconductor integration of epitaxial Gd(2)O(3)
-
- Lemme, Max C., 1970- (författare)
- AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany
-
Gottlob, H. D. B. (författare)
-
Echtermeyer, T. J. (författare)
-
visa fler...
-
Schmidt, M. (författare)
-
Kurz, H. (författare)
-
Endres, R. (författare)
-
Schwalke, U. (författare)
-
Czernohorkky, M. (författare)
-
Tetzlaff, D. (författare)
-
Osten, H. J. (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- American Vacuum Society, 2009
- 2009
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology B. - : American Vacuum Society. - 1071-1023 .- 1520-8567. ; 27:1, s. 258-261
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- In this paper, epitaxial gadolinium oxide (Gd(2)O(3)) is reviewed as a potential high-K gate dielectric, both "as deposited" by molecular beam epitaxy as well as after integration into complementary metal oxide semiconductor (CMOS) processes. The material shows promising intrinsic properties, meeting critical ITRS targets for leakage current densities even at subnanometer equivalent oxide thicknesses. These epitaxial oxides can be integrated into a CMOS platform by a "gentle" replacement gate process. While high temperature processing potentially degrades the material, a route toward thermally stable epitaxial Gd(2)O(3) gate dielectrics is explored by carefully controlling the annealing conditions.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Nanoteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Nano-technology (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Lemme, Max C., 1 ...
-
Gottlob, H. D. B ...
-
Echtermeyer, T. ...
-
Schmidt, M.
-
Kurz, H.
-
Endres, R.
-
visa fler...
-
Schwalke, U.
-
Czernohorkky, M.
-
Tetzlaff, D.
-
Osten, H. J.
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Nanoteknik
- Artiklar i publikationen
-
Journal of Vacuu ...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan