Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-50547" >
Fabrication of mono...
Fabrication of monolithic bidirectional switch devices
- Artikel/kapitelEngelska2004
Förlag, utgivningsår, omfång ...
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-50547
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-50547URI
-
https://doi.org/10.1016/j.mee.2004.03.018DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
QC 20120306
-
The fabrication scheme of a novel MOS-based power device, a monolithic bidirectional switch (MBS), is presented. This concept allows the integration of a bidirectional switch with the advantages of low power consumption, small package size, and low fabrication costs. Furthermore, device simulations predict a performance benefit for power applications such as matrix converters. In an MBS, the field effect is used to control carrier concentrations in elevated structures made up of nearly intrinsic silicon. A CMOS-compatible nano-fabrication process for the MBS is proposed, employing local oxidation of silicon for self-aligned contact formation. First electrical results are presented. (C) 2004 Elsevier B.V. All rights reserved.
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Lemme, Max C.,1970-AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany(Swepub:kth)u1m2eozy
(författare)
-
Chmielus, S
(författare)
-
Sittig, R
(författare)
-
Spangenberg, B
(författare)
-
Kurz, H
(författare)
-
AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Microelectronic Engineering73-4, s. 463-4670167-93171873-5568
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas