Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-50563" >
High-k-oxide/silico...
High-k-oxide/silicon interfaces characterized by capacitance frequency spectroscopy
-
- Raeissi, Bahman, 1979 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Piscator, Johan, 1977 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Engström, Olof, 1943 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
visa fler...
-
- Hall, S. (författare)
- University of Liverpool
-
- Buiu, O. (författare)
- University of Liverpool
-
- Lemme, Max C., 1970- (författare)
- AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany
-
Gottlob, H. D. B. (författare)
-
- Hurley, P. K. (författare)
- Tyndall National Institute at National University of Ireland, Cork
-
- Cherkaoui, K. (författare)
- Tyndall National Institute at National University of Ireland, Cork
-
- Osten, H. J. (författare)
- University of Hanover, Germany
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- ISBN 9781424411238
- 2007
- 2007
- Engelska.
-
Ingår i: ESSDERC 2007. - 9781424411238 ; , s. 283-286
- Relaterad länk:
-
http://dx.doi.org/10...
-
visa fler...
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://research.cha...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Electron capture into insulator/silicon interface states is investigated for high-k dielectrics of Gd(2)O(3) prepared by MBE and ALD, and for HfO(2) prepared by reactive sputtering, by measuring the frequency dependence of MOS capacitance. The capture cross sections are found to be thermally activated and to increase steeply with the energy depth of the interface electron states. The methodology adopted is considered useful for increasing the understanding of high-k-oxide/silicon interfaces.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Nanoteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Nano-technology (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Annan teknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Other Engineering and Technologies (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Raeissi, Bahman, ...
-
Piscator, Johan, ...
-
Engström, Olof, ...
-
Hall, S.
-
Buiu, O.
-
Lemme, Max C., 1 ...
-
visa fler...
-
Gottlob, H. D. B ...
-
Hurley, P. K.
-
Cherkaoui, K.
-
Osten, H. J.
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Nanoteknik
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Annan teknik
- Artiklar i publikationen
-
ESSDERC 2007
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan
-
Chalmers tekniska högskola