onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-50570"
Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-50570" > Comparative study o...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Abermann, S. (författare)
Comparative study on the impact of TiN and Mo metal gates on MOCVD-grown HfO2 and ZrO2 high-kappa dielectrics for CMOS technology
- Artikel/kapitelEngelska2007
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- AIP,2007
- printrdacarrier
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-50570
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-50570URI
- https://doi.org/10.1063/1.2729883DOI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
- Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- QC 20120228
- We compare metal oxide semiconductor capacitors, investigating Titanium-Nitride and Molybdenum as gate materials, as well as metal organic chemical vapor deposited ZrO2 and HfO2 as high-kappa dielectrics, respectively. The impact of different annealing steps on the electrical characteristics of the various gate stacks is a further issue. The positive effect of post metallization annealing in forming gas atmosphere as well as observed mid-gap pinning of TiN and Mo metal gates is presented.
Ämnesord och genrebeteckningar
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER Nanoteknik hsv//swe
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY Nano-technology hsv//eng
- dielectrics
- high-k
- metal gate
- MOCVD
- ZrO2
- HfO2
- TiN
- Mo
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Sjoblom, G. (författare)
- Efavi, J. (författare)
- Lemme, Max C.,1970-AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany(Swepub:kth)u1m2eozy (författare)
- Olsson, J. (författare)
- Bertagnolli, E. (författare)
- AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:Physics of Semiconductors, Pts A and B: AIP, s. 293-2949780735403970
Internetlänk
Hitta via bibliotek
- Physics of Semiconductors, Pts A and B (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Abermann, S.
- Sjoblom, G.
- Efavi, J.
- Lemme, Max C., 1 ...
- Olsson, J.
- Bertagnolli, E.
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Nanoteknik
- Artiklar i publikationen
- Physics of Semic ...
- Av lärosätet
- Kungliga Tekniska Högskolan
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
