Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-50574" >
POLYSILICON MESOSCO...
POLYSILICON MESOSCOPIC WIRES COATED BY Pd AS H(2) SENSORS
- Artikel/kapitelEngelska2009
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
SINGAPORE :WORLD SCIENTIFIC PUBL CO PTE LTD,2009
-
printrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-50574
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-50574URI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:kon swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
QC 20120216
-
In this work a novel monocrystalline silicon nanowires array has been investigated and presented as hydrogen sensor, designed and fabricated by employing high resolution microfabrication techniques and featuring a high surface/volume ratio. The nanowires arrays makes up the channel of a MOS system, palladium-silicon dioxide-silicon. Several devices have been fabricated by using a SOI (Silicon On Insulator) substrate, Source and Drain have been geometrically patterned by optical lithography and Boron p-doped. Electron Beam Litography (EBL) defined the MOS channel made up of a nanowires array of different length and width in different transistors. The pads of Source and Drain have been manufactured with an aluminium film deposition. The Gate has been fabricated with a grown silicon oxide layer (17.4 nm) and Palladium has been used as gate contact. Polarizing and exposing the device to H(2)/N(2) cycles at different concentrations some preliminary measurements have been successfully conducted.
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Cannata, D.
(författare)
-
Di Pietrantonio, F.
(författare)
-
Verona, E.
(författare)
-
Di Natale, C.
(författare)
-
D'Amico, A.
(författare)
-
Paletti, S.
(författare)
-
Lemme, Max C.,1970-AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany(Swepub:kth)u1m2eozy
(författare)
-
Tibuzzi, A.
(författare)
-
Margesin, B.
(författare)
-
Soncini, G.
(författare)
-
Betta, G. F. Dalla
(författare)
-
AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:PROCEEDINGS OF THE 13TH ITALIAN CONFERENCE ON SENSORS AND MICROSYSTEMSSINGAPORE : WORLD SCIENTIFIC PUBL CO PTE LTD, s. 161-165
Internetlänk
- Av författaren/redakt...
-
Benetti, M.
-
Cannata, D.
-
Di Pietrantonio, ...
-
Verona, E.
-
Di Natale, C.
-
D'Amico, A.
-
visa fler...
-
Paletti, S.
-
Lemme, Max C., 1 ...
-
Tibuzzi, A.
-
Margesin, B.
-
Soncini, G.
-
Betta, G. F. Dal ...
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Nanoteknik
- Artiklar i publikationen
- PROCEEDINGS OF T ...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan