onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-5458"
Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-5458" > CF4/O2 versus SF6/O...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
CF4/O2 versus SF6/O2 RIE of Silicon Elastomer : Characterization and Comparison
-
- Dejanovic, Slavko (författare)
- KTH,Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT
- Hesselbom, Hjalmar (författare)
- Norberg, Gunnar (författare)
- (creator_code:org_t)
- Engelska.
- Ingår i: IEEE transactions on components and packaging technologies. - 1521-3331 .- 1557-9972.
- Tidskriftsartikel (övrigt vetenskapligt/konstnärligt)
Ämnesord
Stäng
Nyckelord
- TECHNOLOGY
- TEKNIKVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- vet (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
- IEEE transactions on components and packaging technologies (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Dejanovic, Slavk ...
- Hesselbom, Hjalm ...
- Norberg, Gunnar
- Artiklar i publikationen
- IEEE transaction ...
- Av lärosätet
- Kungliga Tekniska Högskolan
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
