Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-5497" >
Low-frequency noise...
Low-frequency noise in SiGe channel pMOSFETs on ultra-thin body SOI with Ni-silicided source/drain
-
- von Haartman, Martin (författare)
- KTH,Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT
-
- Östling, Mikael (författare)
- KTH,Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT
-
- Malm, Gunnar (författare)
- KTH,Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT
-
visa fler...
-
- Hållstedt, Julius (författare)
- KTH,Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT
-
- Seger, Johan (författare)
- KTH,Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- AIP, 2005
- 2005
- Engelska.
-
Ingår i: Noise and Fluctuations. - : AIP. ; , s. 307-310
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Thelow-frequency noise in buried SiGe channel pMOSFETs fabricated on ultra-thinbody silicon-on-insulator (SOI) substrates is investigated. The total thickness ofthe Si/SiGe/Si body structure, which is fully depleted (FD), is20 nm. The low-frequency noise properties are compared with FDSOI pMOSFETs with a 20 nm Si body. The effectof the Ni-silicide used in the Source/Drain were also studied,especially the case of Schottky-Barrier (SB) MOSFETs when the Ni-silicideis formed at the edges of the channel.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- 1/f noise
- low-frequency noise
- SiGe
- silicon-on-insulator (SOI)
- fully depleted (FD)
- Schottky-Barrier (SB)
- MOSFETs
- Electronics
- Elektronik
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)