onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-85953"
Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-85953" > High performance Si...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
High performance SiGeC HBT technology for radio frequency applications
-
- Östling, Mikael (författare)
- KTH,Mikroelektronik och informationsteknik, IMIT
-
- Haralson, Erik (författare)
- KTH,Mikroelektronik och informationsteknik, IMIT
-
- Malm, Gunnar, 1972- (författare)
- KTH,Mikroelektronik och informationsteknik, IMIT
- (creator_code:org_t)
- 2004
- 2004
- Engelska.
- Ingår i: 2004 Asia-Pacific Radio Science Conference - Proceedings. ; , s. 480-483
- Konferensbidrag (refereegranskat)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- In this paper, the current status of SiGeC bipolar technologies for high-speed and wireless applications is reviewed. The key process features and radio frequency (RF) performance of advanced SiGe bipolar processes are summarized. The different approaches to form a self-aligned base-emitter structure with minimum parasitics are discussed. SiGe:C epitaxy allows very good profile control of the narrow base doping peak, which enables cut-off frequencies above 300 GHz. Downscaling of device dimensions for improved RF performance is also investigated using TCAD simulations. Finally, novel device structures using SOI substrates are discussed.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- 300 GHz; HBT technology; SOI substrates; SiGe:C; TCAD; device dimension downscaling; epitaxy; high-speed bipolar processes; narrow base doping peak profile control; parasitics minimization; radio frequency devices; self-aligned base-emitter structure; Ge-Si alloys; carbon; doping profiles; epitaxial growth; heterojunction bipolar transistors; semiconductor materials; silicon-on-insulator; submillimetre wave transistors; technology CAD (electronics)
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Östling, Mikael
- Haralson, Erik
- Malm, Gunnar, 19 ...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Elektroteknik oc ...
- Artiklar i publikationen
- 2004 Asia-Pacifi ...
- Av lärosätet
- Kungliga Tekniska Högskolan
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
