Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-85955" >
Extreme ultraviolet...
Extreme ultraviolet laser-based table-top aerial image metrology of lithographic masks
-
Brizuela, Fernando (författare)
-
Carbajo, Sergio (författare)
-
Sakdinawat, Anne (författare)
-
visa fler...
-
Alessi, David (författare)
-
- Martz, Dale H. (författare)
- Electrical and Computer Engineering, Colorado State University
-
Wang, Yong (författare)
-
Luther, Bradley (författare)
-
Goldberg, Kenneth A. (författare)
-
Mochi, Iacopo (författare)
-
Attwood, David T. (författare)
-
La Fontaine, Bruno (författare)
-
Rocca, Jorge J. (författare)
-
Menoni, Carmen S. (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Optical Society of America, 2010
- 2010
- Engelska.
-
Ingår i: Optics Express. - : Optical Society of America. - 1094-4087. ; 18:14, s. 14467-14473
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- We have realized the first demonstration of a table-top aerial imaging microscope capable of characterizing pattern and defect printability in extreme ultraviolet lithography masks. The microscope combines the output of a 13.2 nm wavelength, table-top, plasma-based, EUV laser with zone plate optics to mimic the imaging conditions of an EUV lithographic stepper. We have characterized the illumination of the system and performed line-edge roughness measurements on an EUVL mask. The results open a path for the development of a compact aerial imaging microscope for high-volume manufacturing.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Atom- och molekylfysik och optik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Atom and Molecular Physics and Optics (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Brizuela, Fernan ...
-
Carbajo, Sergio
-
Sakdinawat, Anne
-
Alessi, David
-
Martz, Dale H.
-
Wang, Yong
-
visa fler...
-
Luther, Bradley
-
Goldberg, Kennet ...
-
Mochi, Iacopo
-
Attwood, David T ...
-
La Fontaine, Bru ...
-
Rocca, Jorge J.
-
Menoni, Carmen S ...
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Fysik
-
och Atom och molekyl ...
- Artiklar i publikationen
-
Optics Express
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan