Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-86022" >
Interferometric lit...
Interferometric lithography with an amplitude division interferometer and a desktop extreme ultraviolet laser
-
Wachulak, P. (författare)
-
Grisham, M. (författare)
-
Heinbuch, S. (författare)
-
visa fler...
-
- Martz, Dale (författare)
- Department of Electrical and Computer Engineering, Colarado State University
-
Rockward, W. (författare)
-
Hill, D. (författare)
-
Rocca, J. J. (författare)
-
Menoni, C. S. (författare)
-
Anderson, E. (författare)
-
Marconi, M. (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Optical Society of America, 2008
- 2008
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of the Optical Society of America. B, Optical physics. - : Optical Society of America. - 0740-3224 .- 1520-8540. ; 25:7, s. B104-B107
- Relaterad länk:
-
http://josab.osa.org...
-
visa fler...
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- We demonstrate a compact interferometric lithography nanopatterning tool based on an amplitude division interferometer (ADI) and a 46.9 nm wavelength desktop size capillary discharge laser. The system is designed to print arrays of lines, holes, and dots with sizes below 100 nm on high resolution photoresists for the fabrication of arrays of nanostructures with physical and biological applications. The future combination of this ADI with high repetition rate tabletop lasers operating at shorter wavelengths should allow the printing of arrays of sub-10 nm size features with a tabletop setup.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Atom- och molekylfysik och optik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Atom and Molecular Physics and Optics (hsv//eng)
Nyckelord
- UV
- EUV
- and X-ray lasers ; Nanostructure fabrication
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Wachulak, P.
-
Grisham, M.
-
Heinbuch, S.
-
Martz, Dale
-
Rockward, W.
-
Hill, D.
-
visa fler...
-
Rocca, J. J.
-
Menoni, C. S.
-
Anderson, E.
-
Marconi, M.
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Fysik
-
och Atom och molekyl ...
- Artiklar i publikationen
-
Journal of the O ...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan