Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-86180" >
Laser based aerial ...
Laser based aerial microscope for at-wavelength characterization of extreme ultraviolet lithography masks
-
Carbajo, S. (författare)
-
Brizuela, F. (författare)
-
- Martz, Dale (författare)
- NSF ERC for Extreme Ultraviolet Science and Technology, Department of Electrical and Computer Engineering, Colorado State University
-
visa fler...
-
Alessi, D. (författare)
-
Wang, Y. (författare)
-
Marconi, M. C. (författare)
-
Rocca, J. J. (författare)
-
Menoni, C. S. (författare)
-
Sakdinawat, A. (författare)
-
Anderson, E. (författare)
-
Goldberg, K. A. (författare)
-
Attwood, D. T. (författare)
-
La Fontaine, B. (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2010
- 2010
- Engelska.
-
Ingår i: 2010 23RD ANNUAL MEETING OF THE IEEE PHOTONICS SOCIETY. ; , s. 584-585
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- We have developed a compact aerial full-field microscope based on a table-top 13.2 nmwavelength extreme ultraviolet laser and diffractive optics to characterize the printing performance of EUV lithographic masks.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Annan teknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Other Engineering and Technologies (hsv//eng)
Nyckelord
- At-wavelength characterization
- Extreme ultraviolet lasers
- Extreme ultraviolet lithography masks
- Full-field
- Lithographic mask
- Printing performance
- Table-top
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
- Av författaren/redakt...
-
Carbajo, S.
-
Brizuela, F.
-
Martz, Dale
-
Alessi, D.
-
Wang, Y.
-
Marconi, M. C.
-
visa fler...
-
Rocca, J. J.
-
Menoni, C. S.
-
Sakdinawat, A.
-
Anderson, E.
-
Goldberg, K. A.
-
Attwood, D. T.
-
La Fontaine, B.
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Annan teknik
- Artiklar i publikationen
- 2010 23RD ANNUAL ...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan