Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-97985" >
3D Free-Form Patter...
-
Fischer, Andreas C.,1982-KTH,Mikrosystemteknik
(författare)
3D Free-Form Patterning of Silicon by Ion Implantation, Silicon Deposition, and Selective Silicon Etching
- Artikel/kapitelEngelska2012
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
2012-06-08
-
Wiley-VCH Verlagsgesellschaft,2012
-
electronicrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-97985
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-97985URI
-
https://doi.org/10.1002/adfm.201200845DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
QC 20120618
-
A method for additive layer-by-layer fabrication of arbitrarily shaped 3D silicon micro- and nanostructures is reported. The fabrication is based on alternating steps of chemical vapor deposition of silicon and local implantation of gallium ions by focused ion beam (FIB) writing. In a final step, the defined 3D structures are formed by etching the silicon in potassium hydroxide (KOH), in which the local ion implantation provides the etching selectivity. The method is demonstrated by fabricating 3D structures made of two and three silicon layers, including suspended beams that are 40 nm thick, 500 nm wide, and 4 μm long, and patterned lines that are 33 nm wide.
Ämnesord och genrebeteckningar
-
microelectromechanical systems
-
nanostructures
-
additive layer-by-layer fabrication
-
3D silicon patterning
-
focused ion beam (FIB) implantation
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Belova, Lyubov M.KTH,Teknisk materialfysik(Swepub:kth)u15bf6fe
(författare)
-
Malm, Gunnar B.KTH,Integrerade komponenter och kretsar(Swepub:kth)u13lag9j
(författare)
-
Kolahdouz, MohammadrezaKTH,Integrerade komponenter och kretsar(Swepub:kth)u1cet9aw
(författare)
-
Radamson, HenryKTH,Integrerade komponenter och kretsar(Swepub:kth)u1g2cqgr
(författare)
-
Gylfason, Kristinn B.KTH,Mikrosystemteknik(Swepub:kth)u1v3y7u7
(författare)
-
Stemme, GöranKTH,Mikrosystemteknik(Swepub:kth)u1oyebfq
(författare)
-
Niklaus, FrankKTH,Mikrosystemteknik(Swepub:kth)u1bcu8r2
(författare)
-
KTHMikrosystemteknik
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Advanced Functional Materials: Wiley-VCH Verlagsgesellschaft22:19, s. 4004-40081616-301X1616-3028
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas