onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-10437"
Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-10437" > High-power impulse ...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Alami, JonesLinköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan (författare)
High-power impulse magnetron sputtering of Ti-Si-C thin films from a Ti3SiC2 compound target
- Artikel/kapitelEngelska2006
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- Institutionen för fysik, kemi och biologi,2006
- electronicrdacarrier
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-10437
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-10437URI
- https://doi.org/10.1016/j.tsf.2006.06.015DOI
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-18756URI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
- Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- Original publication: J. Alami, P. Eklund, J. Emmerlich, O. Wilhelmsson, U. Jansson, H. Högberg, L. Hultman, & U. Helmersson, High-power impulse magnetron sputtering of Ti-Si-C thin films from a Ti3SiC2 compound target, 2006, Thin Solid Films, (515), 4, 1731-1736. http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2006.06.015. Copyright: Elsevier B.V., http://www.elsevier.com/.
- We have deposited Ti-Si-C thin films using high-power impulse magnetron sputtering (HIPIMS) from a Ti3SiC2 compound target. The as-deposited films were composite materials with TiC as the main crystalline constituent. X-ray diffraction and photoelectron spectroscopy indicated that they also contained amorphous SiC, and for films deposited on inclined substrates, crystalline Ti5Si3Cx. The film morphology was dense and flat, while films deposited with dc magnetron sputtering under comparable conditions were rough and porous. Due to the high degree of ionization of the sputtered species obtained in HIPIMS, it is possible to control the film composition, in particular the C content, by tuning the substrate inclination angle, the Ar process pressure, and the bias voltage.
Ämnesord och genrebeteckningar
- NATURVETENSKAP Fysik hsv//swe
- NATURAL SCIENCES Physical Sciences hsv//eng
- NATURVETENSKAP Kemi Oorganisk kemi hsv//swe
- NATURAL SCIENCES Chemical Sciences Inorganic Chemistry hsv//eng
- HIPIMS
- Titanium silicon carbide
- Physics
- Fysik
- Inorganic chemistry
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Eklund, PerLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)perek02 (författare)
- Emmerlich, JensLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)jenem14 (författare)
- Wilhelmsson, OlaUppsala universitet,Oorganisk kemi,Department of Materials Chemistry, The Ångström Laboratory, Uppsala University, Uppsala, Sweden(Swepub:uu)olwil451 (författare)
- Jansson, UlfUppsala universitet,Oorganisk kemi,Department of Materials Chemistry, The Ångström Laboratory, Uppsala University, Uppsala, Sweden(Swepub:uu)uja03434 (författare)
- Högberg, HansLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)hanho47 (författare)
- Hultman, LarsLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)larhu75 (författare)
- Helmersson, UlfLinköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)ulfhe30 (författare)
- Linköpings universitetPlasma och ytbeläggningsfysik (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:Thin Solid Films: Institutionen för fysik, kemi och biologi515:4, s. 1731-17360040-60901879-2731
Internetlänk
- http://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-4147Link to Ph.D. thesis (Alami)
- http://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-8860Link to Ph.D. thesis (Eklund)
- https://liu.diva-portal.org/smash/get/diva2:17177/FULLTEXT01.pdffulltext:postprint
- http://liu.diva-portal.org/smash/get/diva2:17177/FULLTEXT01
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-10437
- https://doi.org/10.1016/j.tsf.2006.06.015
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-18756
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Alami, Jones
- Eklund, Per
- Emmerlich, Jens
- Wilhelmsson, Ola
- Jansson, Ulf
- Högberg, Hans
- visa fler...
- Hultman, Lars
- Helmersson, Ulf
- visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
- NATURVETENSKAP
- och Fysik
-
- NATURVETENSKAP
- NATURVETENSKAP
- och Kemi
- och Oorganisk kemi
- Artiklar i publikationen
- Thin Solid Films
- Av lärosätet
- Linköpings universitet
- Uppsala universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
