Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-128854" >
Influence of Post-G...
-
Marinova, MayaThessaloniki , Greece
(författare)
Influence of Post-Growth Annealing on the Defects Nature and Distribution in VLS Grown (111) 3C-SiC Layers
- Artikel/kapitelEngelska2011
Förlag, utgivningsår, omfång ...
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-128854
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-128854URI
-
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.679-680.241DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:kon swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
The current communication focuses on the influence of a post-growth annealing on the evolution of defects inside (111) 3C-SiC layers grown by the Vapour Liquid Solid (VLS) mechanism in SiGe melts on Si-face on- and off axis 6H-SiC substrates. The layers are studied by Transmission Electron Microscopy (TEM) and Low Temperature Photoluminescence (LTPL). It was found that the growth on off-axis substrates results in a 3C-SiC layer containing mainly stacking faults (SFs) and microtwins (MT). The density of MT lamellae and SFs reduces in the layers grown on the on-axis substrate compared to off-axis substrate. In the layers grown on off-axis substrates the annealing strongly reduces the density of SFs inclined to the 3C/6H-SiC interface. Additionally, 3C to 6H polytypic transformation appears only at the interface, most probably starting from substrate step edges. This was only seen on off-axis seed since the step edges are more.
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Andreadou, A.Thessaloniki , Greece
(författare)
-
Sun, JianWuGroupe d’Etudes des Semiconducteurs, Université Montpellier 2 and CNRS, cc 074‐GES, 34095 Montpellier Cedex 5, France(Swepub:liu)jiasu75
(författare)
-
Lorenzzi, J.Villeurbanne; France
(författare)
-
Mantzari, A.Thessaloniki , Greece
(författare)
-
Zoulis, GeorgiosGroupe d’Etudes des Semiconducteurs, Université Montpellier 2 and CNRS, cc 074‐GES, 34095 Montpellier Cedex 5, France
(författare)
-
Jegenyes, NikolettaVilleurbanne; France
(författare)
-
Juillaguet, SandrineGroupe d’Etudes des Semiconducteurs, Université Montpellier 2 and CNRS, cc 074‐GES, 34095 Montpellier Cedex 5, France
(författare)
-
Soulière, VeroniqueVilleurbanne; France
(författare)
-
Ferro, G.Villeurbanne; France
(författare)
-
Camassel, JeanGroupe d’Etudes des Semiconducteurs, Université Montpellier 2 and CNRS, cc 074‐GES, 34095 Montpellier Cedex 5, France
(författare)
-
Polychroniadis, Efstathios K.Thessaloniki , Greece
(författare)
-
Thessaloniki , GreeceGroupe d’Etudes des Semiconducteurs, Université Montpellier 2 and CNRS, cc 074‐GES, 34095 Montpellier Cedex 5, France
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Silicon Carbide and Related Materials 2010, s. 241-244
Internetlänk
- Av författaren/redakt...
-
Marinova, Maya
-
Andreadou, A.
-
Sun, JianWu
-
Lorenzzi, J.
-
Mantzari, A.
-
Zoulis, Georgios
-
visa fler...
-
Jegenyes, Nikole ...
-
Juillaguet, Sand ...
-
Soulière, Veroni ...
-
Ferro, G.
-
Camassel, Jean
-
Polychroniadis, ...
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Fysik
-
och Den kondenserade ...
- Artiklar i publikationen
- Silicon Carbide ...
- Av lärosätet
-
Linköpings universitet