Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-13376" >
Ion-assisted Physic...
Ion-assisted Physical Vapor Deposition for enhanced film properties on non-flat surfaces
-
- Alami, Jones (författare)
- Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan
-
- Persson, Per O. Å. (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan
-
- Music, Denis (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan
-
visa fler...
-
- Gudmundsson, J. T. (författare)
- University of Iceland, Reykjavik
-
- Böhlmark, Johan (författare)
- Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan
-
- Helmersson, Ulf (författare)
- Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- American Vacuum Society, 2005
- 2005
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films. - : American Vacuum Society. - 0734-2101 .- 1520-8559. ; 23:2, s. 278-280
- Relaterad länk:
-
http://urn.kb.se/res...
-
visa fler...
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- We have synthesized Ta thin films on Si substrates placed along a wall of a 2-cm-deep and 1-cm-wide trench, using both a mostly neutral Ta flux by conventional dc magnetron sputtering (dcMS) and a mostly ionized Ta flux by high-power pulsed magnetron sputtering (HPPMS). Structure of the grown films was evaluated by scanning electron microscopy, transmission electron microscopy, and atomic force microscopy. The Ta thin film grown by HPPMS has a smooth surface and a dense crystalline structure with grains oriented perpendicular to the substrate surface, whereas the film grown by dcMS exhibits a rough surface, pores between the grains, and an inclined columnar structure. The improved homogeneity achieved by HPPMS is a direct consequence of the high ion fraction of sputtered species.
Nyckelord
- tantalum
- ion beam assisted deposition
- sputter deposition
- scanning electron microscopy
- transmission electron microscopy
- atomic force microscopy
- surface structure
- surface roughness
- porosity
- metallic thin films
- NATURAL SCIENCES
- NATURVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas