Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-13836" >
Computer screen pho...
Computer screen photo-assisted off-null ellipsometry
-
- Bakker, Jimmy W.P. (författare)
- Linköpings universitet,Tillämpad optik,Tekniska högskolan
-
- Arwin, Hans (författare)
- Linköpings universitet,Tillämpad optik,Tekniska högskolan
-
- Lundström, Ingemar (författare)
- Linköpings universitet,Tillämpad Fysik,Tekniska högskolan
-
visa fler...
-
- Filippini, Daniel (författare)
- Linköpings universitet,Tillämpad Fysik,Tekniska högskolan
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2006
- 2006
- Engelska.
-
Ingår i: Applied Optics. - 1559-128X .- 2155-3165. ; 45:30, s. 7795-7799
- Relaterad länk:
-
http://urn.kb.se/res...
-
visa fler...
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- The ellipsometric measurement of thickness is demonstrated using a computer screen as a light source and a webcam as a detector, adding imaging off-null ellipsometry to the range of available computer screen photoassisted techniques. The results show good qualitative agreement with a simplified theoretical model and a thickness resolution in the nanometer range is achieved. The presented model can be used to optimize the setup for sensitivity. Since the computer screen serves as a homogeneous large area illumination source, which can be tuned to different intensities for different parts of the sample, a large sensitivity range can be obtained without sacrificing thickness resolution.
Nyckelord
- TECHNOLOGY
- TEKNIKVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas