Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-13976" >
Spatial electron de...
Spatial electron density distribution in a high-power pulsed magnetron discharge
-
- Böhlmark, Johan (författare)
- Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan
-
Gudmundsson, J. T. (författare)
-
- Alami, Jones (författare)
- Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan
-
visa fler...
-
- Lattemann, Martina (författare)
- Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan
-
- Helmersson, Ulf (författare)
- Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2005
- 2005
- Engelska.
-
Ingår i: IEEE Transactions on Plasma Science. - 0093-3813 .- 1939-9375. ; 33:2, s. 346-347
- Relaterad länk:
-
http://urn.kb.se/res...
-
visa fler...
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- The spatial electron density distribution was measured as function of time in a high-power pulsed magnetron discharge. A Langmuir probe was positioned in various positions below the target and the electron density was mapped out. We recorded peak electron densities exceeding 1019 m-3 in a close vicinity of the target. The dynamics of the discharge showed a dense plasma expanding from the "race-track" axially into the vacuum chamber. We also record electrons trapped in a magnetic bottle where the magnetron magnetic field is zero, formed due to the unbalanced magnetron.
Nyckelord
- magnetron sputtering
- plasma density
- pulsed plasmas
- thin film deposition
- NATURAL SCIENCES
- NATURVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas