Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-13976" > Spatial electron de...
Fältnamn | Indikatorer | Metadata |
---|---|---|
000 | 02366naa a2200385 4500 | |
001 | oai:DiVA.org:liu-13976 | |
003 | SwePub | |
008 | 060912s2005 | |||||||||||000 ||eng| | |
024 | 7 | a https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-139762 URI |
024 | 7 | a https://doi.org/10.1109/TPS.2005.8450222 DOI |
040 | a (SwePub)liu | |
041 | a engb eng | |
042 | 9 SwePub | |
072 | 7 | a ref2 swepub-contenttype |
072 | 7 | a art2 swepub-publicationtype |
100 | 1 | a Böhlmark, Johanu Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan4 aut0 (Swepub:liu)johbo37 |
245 | 1 0 | a Spatial electron density distribution in a high-power pulsed magnetron discharge |
264 | 1 | c 2005 |
338 | a print2 rdacarrier | |
520 | a The spatial electron density distribution was measured as function of time in a high-power pulsed magnetron discharge. A Langmuir probe was positioned in various positions below the target and the electron density was mapped out. We recorded peak electron densities exceeding 1019 m-3 in a close vicinity of the target. The dynamics of the discharge showed a dense plasma expanding from the "race-track" axially into the vacuum chamber. We also record electrons trapped in a magnetic bottle where the magnetron magnetic field is zero, formed due to the unbalanced magnetron. | |
653 | a magnetron sputtering | |
653 | a plasma density | |
653 | a pulsed plasmas | |
653 | a thin film deposition | |
653 | a NATURAL SCIENCES | |
653 | a NATURVETENSKAP | |
700 | 1 | a Gudmundsson, J. T.4 aut |
700 | 1 | a Alami, Jonesu Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan4 aut0 (Swepub:liu)jonal90 |
700 | 1 | a Lattemann, Martinau Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan4 aut0 (Swepub:liu)marla08 |
700 | 1 | a Helmersson, Ulfu Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan4 aut0 (Swepub:liu)ulfhe30 |
710 | 2 | a Linköpings universitetb Plasma och ytbeläggningsfysik4 org |
773 | 0 | t IEEE Transactions on Plasma Scienceg 33:2, s. 346-347q 33:2<346-347x 0093-3813x 1939-9375 |
856 | 4 | u http://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-7359y Link to Ph.D. thesis |
856 | 4 8 | u https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-13976 |
856 | 4 8 | u https://doi.org/10.1109/TPS.2005.845022 |
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy