Influence of co-sputtering AlB2 to TaB2 on stoichiometry of non-reactively sputtered boride thin films

Funding Agencies|Christian Doppler Laboratory for Surface Engineering of High-Performance Components, TU Wien, Austria
Transition metal diboride thin films are promising functional materials for their outstanding mechanical properties and thermal stability. By combining experiment and simulations, we discuss angular distribution of the sputtered species, their scattering in the gas phase, re-sputtering and potential evaporation from the grown films for the complex evolution of film compositions, as well as energetic preference for vacancy formation and competing phases as factors for governing the phase constitution. By co-sputtering from two compound targets, we developed phase-pure crystalline (Ta,Al)B2 solid solution thin films and correlate the stoichiometry changes with the evolution of their microstructure, hardness, and elastic modulus. {GRAPHICAL ABSTRACT}

Lin, ShuyaoLinköpings universitet,Biologi,Tekniska fakulteten,TU Wien, Austria(Swepub:liu)n/a (författare)
Podsednik, M.TU Wien, Austria; KAI Kompetenzzentrum Automobil & Industrieelektron, Austria (författare)
Mraz, StanislavRhein Westfal TH Aachen, Germany (författare)
Wojcik, T.TU Wien, Austria (författare)
Limbeck, A.TU Wien, Austria (författare)
Koutna, NikolaLinköpings universitet,Teoretisk Fysik,Tekniska fakulteten,TU Wien, Austria(Swepub:liu)nikko93 (författare)
Mayrhofer, Paul H.TU Wien, Austria (författare)
TU Wien, AustriaBiologi (creator_code:org_t)

Ingår i:Materials Research Letters: TAYLOR & FRANCIS INC12:8, s. 561-5702166-3831

Av författaren/redakt...: Hu, Chun; Lin, Shuyao; Podsednik, M.; Mraz, Stanislav; Wojcik, T.; Limbeck, A.; visa fler...; Koutna, Nikola; Mayrhofer, Paul ...; visa färre...

Om ämnet

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.