Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-38684" >
A study of thick 3C...
A study of thick 3C-SiC epitaxial layers grown on 6H-SiC substrates by sublimation epitaxy in vacuum
-
- Lebedev, Alexander, 2000- (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Institutionen för fysik, kemi och biologi
-
Zelenin, V.V. (författare)
-
Abramov, P.L. (författare)
-
visa fler...
-
Bogdanova, E.V. (författare)
-
Lebedev, S.P. (författare)
-
Nel¿son, D.K. (författare)
-
Razbirin, B.S. (författare)
-
Shcheglov, M.P. (författare)
-
Tregubova, A.S. (författare)
-
- Syväjärvi, Mikael, 1968- (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial
-
- Yakimova, Rositsa, 1942- (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2007
- 2007
- Engelska.
-
Ingår i: Semiconductors (Woodbury, N.Y.). - 1063-7826 .- 1090-6479. ; 41:3, s. 263-265
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- 3C-SiC epitaxial layers with a thickness of up to 100 μm were grown on 6H-SiC hexagonal substrates by sublimation epitaxy in vacuum. The n-type epitaxial layers with the area in the range 0.3-0.5 cm2 and uncompensated donor concentration N d - N a ∼ (10 17-1018) cm-3 were produced at maximum growth rates of up to 200 μm/h. An X-ray analysis demonstrated that the epitaxial layers are composed of the 3C-SiC polytype, without inclusions of other polytypes. The photoluminescence (PL) spectrum of the layers was found to be dominated by the donor-acceptor (Al-N) recombination band peaked at hv ≈ 2.12 eV. The PL spectrum measured at 6 K was analyzed in detail. It is concluded that the epitaxial layers obtained can serve as substrates for 3C-SiC-based electronic devices. © Nauka/Interperiodica 2007.
Nyckelord
- NATURAL SCIENCES
- NATURVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Lebedev, Alexand ...
-
Zelenin, V.V.
-
Abramov, P.L.
-
Bogdanova, E.V.
-
Lebedev, S.P.
-
Nel¿son, D.K.
-
visa fler...
-
Razbirin, B.S.
-
Shcheglov, M.P.
-
Tregubova, A.S.
-
Syväjärvi, Mikae ...
-
Yakimova, Rosits ...
-
visa färre...
- Artiklar i publikationen
-
Semiconductors ( ...
- Av lärosätet
-
Linköpings universitet