Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-40881" >
Low-pressure sublim...
-
Beshkova, MilenaLinköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial
(författare)
Low-pressure sublimation epitaxy of AlN films - growth and characterization
- Artikel/kapitelEngelska2004
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
Elsevier BV,2004
-
printrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-40881
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-40881URI
-
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2004.07.052DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
Epitaxial layers of aluminum nitride have been grown at temperatures 1900-2400degreesC on 10 x 10 mm(2) 4H-SiC substrate via sublimation recondensation in an RF heated graphite furnace. The source material was polycrystalline sintered AlN. A maximum growth rate of about 100 mum/h was achieved at 2400degreesC and seed to source distance of 1 mm. The surface morphology reflects the hexagonal symmetry of the seed suggesting an epitaxial growth. This was confirmed by X-ray diffraction (XRD). The spectra showed very strong and well-defined (0002) reflection position at around 36.04degrees in symmetric Theta-2Thetascans for all samples. Micro-Raman spectroscopy reveals that the films have a wurtzite structure. It is evidenced by the appearance of the A(1) (TO) (at 601 cm(-1)) and E-2((2)) (at 651 cm(-1)) lines in the spectra. Secondary-ion mass spectroscopy (SIMS) results showed a low concentration of carbon incorporation in the AlN films. A correlation between the growth conditions and properties of the AlN layers was established.
Ämnesord och genrebeteckningar
-
AIN
-
sublimation
-
morphology
-
XRD
-
Raman
-
NATURAL SCIENCES
-
NATURVETENSKAP
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Zakhariev, Z.
(författare)
-
Abrashev, M.V.
(författare)
-
Birch, Jens,1960-Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Tunnfilmsfysik(Swepub:liu)jenbi91
(författare)
-
Kakanakova-Georgieva, Anelia,1970-Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial(Swepub:liu)aneka59
(författare)
-
Yakimova, Rositsa,1942-Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial(Swepub:liu)rosia15
(författare)
-
Linköpings universitetTekniska högskolan
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Vacuum: Elsevier BV76, s. 143-1460042-207X1879-2715
Internetlänk
Hitta via bibliotek
-
Vacuum
(Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas