Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-43526" >
Chloride-based SiC ...
-
Pedersen, Henrik,1981-Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial
(författare)
Chloride-based SiC epitaxial growth
- Artikel/kapitelEngelska2009
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
Trans Tech Publications,2009
-
printrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-43526
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-43526URI
-
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.615-617.89DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:kon swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
Some aspects of the chloride-based CVD growth process have been investigated by using both the approach to add HCl to the standard precursors or/and by using the single molecule precursor methyltrichlorosilane (MTS). The efficiency of the process for different precursors, the growth rate stability and the effect that the Cl/Si-ratio has on the growth have been studied. MTS is showed to be the most efficient precursor; the growth can be hindered by to much chlorine in the gas mixture. The Cl/Si-ratio is also found to be a process parameter that affects the amount of incorporated nitrogen in the epilayers.
Ämnesord och genrebeteckningar
-
NATURAL SCIENCES
-
NATURVETENSKAP
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Leone, Stefano,1978-Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial(Swepub:liu)stele19
(författare)
-
Henry, Anne,1959-Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial(Swepub:liu)annhe32
(författare)
-
Beyer, Franziska,1980-Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial(Swepub:liu)frabe40
(författare)
-
Lundskog, Anders,1981-Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial(Swepub:liu)andlu37
(författare)
-
Janzén, Erik,1954-Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial(Swepub:liu)erija14
(författare)
-
Linköpings universitetTekniska högskolan
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Materials Science Forum Vols. 615-617: Trans Tech Publications, s. 89-
Internetlänk