SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-46454"
 

Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-46454" > Structural, electri...

LIBRIS Formathandbok  (Information om MARC21)
FältnamnIndikatorerMetadata
00002102nam a2200337 4500
001oai:DiVA.org:liu-46454
003SwePub
008091011s2003 | |||||||||||000 ||eng|
024a https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-464542 URI
024a https://doi.org/10.1116/1.16172772 DOI
040 a (SwePub)liu
041 a engb eng
042 9 SwePub
072 7a vet2 swepub-contenttype
072 7a ovr2 swepub-publicationtype
100a Broitman, E.u College of William and Mary, Williamsburg, Virginia4 aut
2451 0a Structural, electrical, and optical properties of diamondlike carbon films deposited by dc magnetron sputtering
264 1b American Vacuum Society,c 2003
338 a print2 rdacarrier
500 a Letters
520 a The electrical and optical properties of diamondlike carbon films deposited by direct current magnetron sputtering on Si substrates at room temperature have been measured as a function of the ion energy (Eion) and ion-to-carbon flux (Jion/JC). The results show that, in the ranges of 5 eV⩽Eion⩽85 eV and 1.1⩽Jion/JC⩽6.8, the presence of defective graphite formed by subplanted C and Ar atoms, voids, and the surface roughness, are the dominant influences on the resistivity and optical absorption
653 a TECHNOLOGY
653 a TEKNIKVETENSKAP
700a Lindquist, O.P.A.u Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan4 aut
700a Hellgren, N.u University of Illinois, Urbana4 aut
700a Hultman, Larsu Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan4 aut0 (Swepub:liu)larhu75
700a Holloway, B.C.u College of William and Mary, Williamsburg, Virginia4 aut
710a College of William and Mary, Williamsburg, Virginiab Institutionen för fysik, kemi och biologi4 org
773t Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Filmsd : American Vacuum Societyx 0734-2101x 1520-8559
8564 8u https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-46454
8564 8u https://doi.org/10.1116/1.1617277

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy