Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-48035" >
Sublimation epitaxy...
-
Beshkova, MilenaLinköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial
(författare)
Sublimation epitaxy of AlN layers grown by different conditions on 4H-SiC substrates
- Artikel/kapitelEngelska2007
Förlag, utgivningsår, omfång ...
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-48035
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-48035URI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
Epitaxial layers of aluminium nitride were grown at temperature 2100 degrees C on 10X10 mm(2) 4H-SiC substrates via a sublimation-recondensation method in an RF heated graphite furnace. The source material was polycrystalline sintered AIN. Growths of AIN layers in vacuum and pure nitrogen at 20 mbar were compared. MA maximum growth rate of 70 mu m/h was achieved in a pure N-2 atmosphere. The surface morphology reveals the hexagonal symmetry of the seeds, suggesting an epitaxial growth. This was confirmed by High-Resolution X-Ray Diffraction. The spectra showed a strong and well defined (0002) reflection positioned at 36.04 degrees in a symmetric theta-2 theta scan for both samples. Micro-Raman spectroscopy revealed that the films had a wurtzite structure. Rutherford Backscattering Spectrometry indicated the quality with a relative chi(min) parameter 0.68.
Ämnesord och genrebeteckningar
-
AlN
-
sublimation epitaxy
-
HRXRD
-
RBS
-
TECHNOLOGY
-
TEKNIKVETENSKAP
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Grigorov, K. G.
(författare)
-
Zakhariev, Z.
(författare)
-
Abrashev, M.
(författare)
-
Massi, M.
(författare)
-
Yakimova, RositsaLinköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial(Swepub:liu)rosia15
(författare)
-
Linköpings universitetTekniska högskolan
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Journal of Optoelectronics and Advanced Materials9:1, s. 213-2161454-41641841-7132
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas