Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-62862" >
Growth of 6H and 4H...
-
Syväjärvi, MikaelLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
(författare)
Growth of 6H and 4H-SiC by sublimation epitaxy
- Artikel/kapitelEngelska1999
Förlag, utgivningsår, omfång ...
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-62862
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-62862URI
-
https://doi.org/10.1016/S0022-0248(98)00890-2DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
The epitaxial sublimation growth process of SiC has been investigated. Layers with specular surfaces and growth rates up to 2 mm/h have been obtained. No step bunching is observed by optical microscopy even on very thick layers which indicates a stable step growth mechanism. Under certain growth conditions the morphology degrades. The morphological stability is investigated and discussed in relation to the growth kinetics. Impurities in the epitaxial layers are investigated by secondary ion mass spectroscopy and low-temperature photoluminescence. The carrier concentration is measured by capacitance–voltage measurements. The structural quality of the grown material is improved compared to the substrate as shown by X-ray diffraction measurements.
Ämnesord och genrebeteckningar
-
SiC; Morphology; Growth rate; Purity
-
NATURAL SCIENCES
-
NATURVETENSKAP
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Yakimova, RositsaLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan(Swepub:liu)rosia15
(författare)
-
Tuominen, MLinköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan
(författare)
-
Kakanakova-Georgieva, Anelia,1970-Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan(Swepub:liu)aneka59
(författare)
-
Macmillan, M FLinköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan
(författare)
-
Henry, AnneLinköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan(Swepub:liu)annhe32
(författare)
-
Wahab, Qamar UlLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan(Swepub:liu)qamwa17
(författare)
-
Janzén, ErikLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan(Swepub:liu)erija14
(författare)
-
Linköpings universitetHalvledarmaterial
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Journal of Crystal Growth197:1-2, s. 155-1620022-02481873-5002
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas