Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-62870" >
Structural properti...
Structural properties of 6H-SiC epilayers grown by two different techniques
-
- Kakanakova-Georgieva, Anelia, 1970- (författare)
- Sofia University
-
- Paskova, T. (författare)
- Sofia University
-
- Yakimova, Rositsa (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
visa fler...
-
- Hallin, Christer (författare)
- Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan
-
- Syväjärvi, Mikael (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
- Trifonova, E.P. (författare)
- Sofia University
-
- Surtchev, M. (författare)
- Sofia University
-
- Janzén, Erik (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 1997
- 1997
- Engelska.
-
Ingår i: Materials Science and Engineering B. - 0921-5107. ; 46:1-3, s. 345-348
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- In the present work we investigated the structural properties of 6H-SiC homoepitaxial layers utilizing microhardness and X-ray characterization techniques. The growth was performed by chemical vapour deposition (CVD) and liquid phase epitaxy (LPE) under various growth conditions. The depth Knoop hardness profiles represent decreasing curves due to the indentation size effect. With load increasing the curves saturate reaching microhardness values comparable with the known Vickers ones. At about 0.4 μm beneath the layer surfaces the curves show small plateaus which may be attributed to structural inhomogeneity. This is suggested by X-ray diffraction spectra taken from the same samples, which contain additional peaks besides the typical ones for 6H-SiC.
Nyckelord
- Chemical vapor deposition; Liquid phase epitaxy; 6H-SiC layers
- NATURAL SCIENCES
- NATURVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas