Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-65727" >
Epitaxial Growth of...
Epitaxial Growth of GaN (0001)/Al2O3 (0001) by Reactive High Power Impulse Magnetron Sputter Deposition
-
- Junaid, Muhammad (författare)
- Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan
-
- Lundin, Daniel (författare)
- Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan
-
- Palisaitis, Justinas (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan
-
visa fler...
-
- Hsiao, Ching-Lien (författare)
- Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan
-
- Jensen, Jens (författare)
- Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan
-
- Persson, Per (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan
-
- Sandström, Per (författare)
- Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan
-
- Lai, W.-J. (författare)
- Center for Condensed Matter Sciences, National Taiwan University, Taipei 106, Taiwan
-
- Chen, L.-C. (författare)
- Center for Condensed Matter Sciences, National Taiwan University, Taipei 106, Taiwan
-
- Chen, K.-H. (författare)
- Center for Condensed Matter Sciences, National Taiwan University, Taipei 106, Taiwan/Institute of Atomic and Molecular Sciences, Academia Sinica, Taipei, Taiwan
-
- Helmersson, Ulf (författare)
- Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan
-
- Hultman, Lars (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan
-
- Birch, Jens (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Engelska.
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Epitaxial GaN (0001) thin films were grown on Al2O3 (0001) substrates by reactive high power impulse magnetron sputtering of liquid Ga targets in a mixed N2/Ar discharge. A combination of x-ray diffraction, electron microscopy, atomic force microscopy, μ-Raman mapping and spectroscopy, μ-photoluminescence, time of flight elastic recoil detection, and cathodoluminescence showed the formation of relaxed and strained domains in the same films. While the strained domains form due to ion bombardment during growth, the relaxed domains exhibit
Nyckelord
- GaN
- Sputtering
- HiPIMS
- RAMAN
- PL
- XRD
- NATURAL SCIENCES
- NATURVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- vet (ämneskategori)
- ovr (ämneskategori)
- Av författaren/redakt...
-
Junaid, Muhammad
-
Lundin, Daniel
-
Palisaitis, Just ...
-
Hsiao, Ching-Lie ...
-
Jensen, Jens
-
Persson, Per
-
visa fler...
-
Sandström, Per
-
Lai, W.-J.
-
Chen, L.-C.
-
Chen, K.-H.
-
Helmersson, Ulf
-
Hultman, Lars
-
Birch, Jens
-
visa färre...
- Av lärosätet
-
Linköpings universitet