Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-77103" >
Growth and characte...
Growth and characterization of epitaxial Ti3GeC2 thin films on 4H-SiC(0001)
-
- Buchholt, Kristina (författare)
- Linköpings universitet,Tillämpad Fysik,Tekniska högskolan
-
- Eklund, Per (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan
-
- Jensen, Jens (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan
-
visa fler...
-
- Lu, Jun (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan
-
- Ghandi, Reza (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar,Royal Institute Technology, KTH
-
- Domeij, Martin (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar,Royal Institute Technology, KTH
-
- Zetterling, Carl-Mikael (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar,Royal Institute Technology, KTH
-
- Behan, G (författare)
- Trinity College Dublin
-
- Zhang, H (författare)
- Trinity College Dublin
-
- Lloyd Spetz, Anita (författare)
- Linköpings universitet,Tillämpad Fysik,Tekniska högskolan
-
- Hultman, Lars (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Elsevier, 2012
- 2012
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Crystal Growth. - : Elsevier. - 0022-0248 .- 1873-5002. ; 343:1, s. 133-137
- Relaterad länk:
-
https://liu.diva-por... (primary) (Raw object)
-
visa fler...
-
http://liu.diva-port...
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Epitaxial Ti3GeC2 thin films were deposited on 4 degrees off-cut 4H-SiC(0001) using magnetron sputtering from high purity Ti, C, and Ge targets. Scanning electron microscopy and helium ion microscopy show that the Ti3GeC2 films grow by lateral step-flow with {11 (2) over bar0} faceting on the SiC surface. Using elastic recoil detection analysis, atomic force microscopy, and X-Ray diffraction the films were found to be substoichiometric in Ge with the presence of small Ge particles at the surface of the film.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- Surface structure
- Atomic force microscopy
- Helium ion microscopy
- Physical vapor deposition processes
- Titanium compound
- TECHNOLOGY
- TEKNIKVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Buchholt, Kristi ...
-
Eklund, Per
-
Jensen, Jens
-
Lu, Jun
-
Ghandi, Reza
-
Domeij, Martin
-
visa fler...
-
Zetterling, Carl ...
-
Behan, G
-
Zhang, H
-
Lloyd Spetz, Ani ...
-
Hultman, Lars
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Elektroteknik oc ...
- Artiklar i publikationen
-
Journal of Cryst ...
- Av lärosätet
-
Linköpings universitet
-
Kungliga Tekniska Högskolan