Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:ri-35508" >
Reduction of densit...
-
Sledziewski, TomaszLehrstuhl für Angewandte Physik, Germany
(författare)
Reduction of density of 4H-SiC/SiO2 interface traps by pre-oxidation phosphorus implantation
- Artikel/kapitelEngelska2014
Förlag, utgivningsår, omfång ...
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:ri-35508
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:ri:diva-35508URI
-
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.778-780.575DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:kon swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
The effect of phosphorus (P) on the electrical properties of the 4H-SiC/SiO2 interface was investigated. Phosphorus was introduced by surface-near ion implantation with varying ion energy and dose prior to thermal oxidation. Secondary ion mass spectrometry revealed that only part of the implanted P followed the oxidation front to the interface. A negative flatband shift due to residual P in the oxide was found from C-V measurements. Conductance method measurements revealed a significant reduction of density of interface traps Dit with energy EC-Eit > 0.3 V for P+-implanted samples with [P]interface = 1.5 · 1018 cm-3 in the SiC layer at the interface. .
Ämnesord och genrebeteckningar
-
Conductance method
-
Interface traps
-
Mos interface
-
Phosphorus ion implantation
-
Electric properties
-
Ion implantation
-
Oxidation
-
Secondary ion mass spectrometry
-
Silicon carbide
-
C-V measurement
-
Implanted samples
-
Oxidation front
-
Phosphorus ion implantations
-
Thermal oxidation
-
Phosphorus
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Mikhaylov, Aleksey I.RISE,Acreo,SPbETU 'LETI', Russia
(författare)
-
Reshanov, Sergey A.Ascatron, Sweden
(författare)
-
Schöner, AdolfRISE,Acreo,Ascatron, Sweden
(författare)
-
Weber, Heiko B.Lehrstuhl für Angewandte Physik, Germany
(författare)
-
Krieger, MichaelLehrstuhl für Angewandte Physik, Germany
(författare)
-
Lehrstuhl für Angewandte Physik, GermanyAcreo
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Materials Science Forum, s. 575-5789783038350101
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas