Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-10709" >
Focused ion beam fa...
Focused ion beam fabrication procedures of x-ray micro Fresnel zone plates
-
- Surpi, Alessandro (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för fysik och materialvetenskap
-
- Valizadeh, Sima (författare)
- Uppsala universitet,Tillämpad materialvetenskap
-
- Leifer, Klaus (författare)
- Uppsala universitet,Tillämpad materialvetenskap
-
visa fler...
-
- Lagomarsino, Stefano (författare)
- Istituto di Fotonica e Nanotecnologie (CNR) Via Cineto Romano 42, 00156 Roma, Italy
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2007-02-20
- 2007
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Micromechanics and Microengineering. - : IOP Publishing. - 0960-1317 .- 1361-6439. ; 17:3, s. 617-622
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- In this paper the use of focused ion beam (FIB) mask-less lithography is presented as a novel and simple way to fabricate x-ray Fresnel zone plates (FZPs), and a prototype of a FIB-made 100 nm resolution FZP with 38 zones is described. Considerations for future developments—the maximum aspect ratio achievable by FIB lithography in nickel, a way to produce zones with a parabolic transverse profile, as theoretically required for the highest efficiency in focusing—are also reported.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences (hsv//eng)
Nyckelord
- Physics
- Fysik
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas