SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-157836"
 

Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-157836" > Highly Mass-Sensiti...

Highly Mass-Sensitive Thin Film Plate Acoustic Resonators (FPAR)

Arapan, Lilia (författare)
Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik,Thin Films
Alexieva, Gergana (författare)
Dept of Solid State Physics and Microelectronics, University of Sofia, Bulgarien,Acoustics
Avramov, Ivan D (författare)
Georgy nadjakov Institute of Solid State Physics, Sofia,Bulgarian Academy of Sciences,Acoustics
visa fler...
Radeva, Elisaveta (författare)
Georgy Nadjakov Institute of Solid State Physics, Sofia, Bulgarian Academy of Sciences,acoustics
Strashilov, Vesseline (författare)
University of Sofia,acoustics
Katardjiev, Ilia (författare)
Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik,Thin Films
Yantchev, Ventsislav (författare)
Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik,Thin films
visa färre...
 (creator_code:org_t)
2011-07-04
2011
Engelska.
Ingår i: Sensors. - : MDPI AG. - 1424-8220. ; 11:7, s. 6942-6953
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract Ämnesord
Stäng  
  • The mass sensitivity of thin aluminum nitride (AlN) film S0 Lamb wave resonators is theoretically and experimentally studied. Theoretical predictions based on modal and finite elements method analysis are experimentally verified. Here, two-port 888 MHz synchronous FPARs are micromachined and subsequently coated with hexamethyl-disiloxane(HMDSO)-plasma-polymerized thin films of various thicknesses. Systematic data on frequency shift and insertion loss versus film thickness are presented. FPARs demonstrate high mass-loading sensitivity as well as good tolerance towards the HMDSO viscous losses. Initial measurements in gas phase environment are further presented.

Nyckelord

resonator
aluminum nitride
membrane
HMDSO
gravimetric
sensitivity
Other electrical engineering, electronics and photonics
Övrig elektroteknik, elektronik och fotonik
Teknisk fysik med inriktning mot mikrosystemteknik
Engineering Science with specialization in Microsystems Technology
Engineering Science with specialization in Electronics
Teknisk fysik med inriktning mot elektronik

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
art (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

  • Sensors (Sök värdpublikationen i LIBRIS)

Till lärosätets databas

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy