Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-180128" >
Influence of surfac...
Influence of surface preparation on atomic layer deposition of Pt films
-
- Ge, Liang (författare)
- State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai, Kina
-
- Hu, Cheng (författare)
- State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai, Kina
-
- Zhu, Zhiwei (författare)
- Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
-
visa fler...
-
- Zhang, D. Wei (författare)
- State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai, Kina
-
- Wu, Dongping (författare)
- State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai, Kina
-
- Zhang, Shi-Li (författare)
- Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2012-08-22
- 2012
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Semiconductors. - : IOP Publishing. - 1674-4926. ; 33:8, s. 083003-
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- Electronics
- Elektronik
- Teknisk fysik med inriktning mot elektronik
- Engineering Science with specialization in Electronics
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas