Tin oxide atomic layer deposition from tetrakis(dimethylamino)tin and water

LIBRIS Formathandbok (Information om MARC21)

Fältnamn	Indikatorer	Metadata
000		01456naa a2200301 4500
001		oai:DiVA.org:uu-222491
003		SwePub
008		140411s2013 \| \|\|\|\|\|\|\|\|\|\|\|000 \|\|eng\|
024	7	a https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-2224912 URI
024	7	a https://doi.org/10.1116/1.48127172 DOI
040		a (SwePub)uu
041		a eng
042		9 SwePub
072	7	a ref2 swepub-contenttype
072	7	a art2 swepub-publicationtype
100	1	a Mullings, Marja N.4 aut
245	1 0	a Tin oxide atomic layer deposition from tetrakis(dimethylamino)tin and water
264	1	b American Vacuum Society (AVS),c 2013
338		a print2 rdacarrier
650	7	a TEKNIK OCH TEKNOLOGIERx Materialteknik0 (SwePub)2052 hsv//swe
650	7	a ENGINEERING AND TECHNOLOGYx Materials Engineering0 (SwePub)2052 hsv//eng
700	1	a Hägglund, Carl,d 1975-u Department of Chemical Engineering, Stanford University, Stanford, California,Thin film solar cells4 aut0 (Swepub:uu)carha577
700	1	a Bent, Stacey F.4 aut
710	2	a Department of Chemical Engineering, Stanford University, Stanford, Californiab Thin film solar cells4 org
773	0	t Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Filmsd : American Vacuum Society (AVS)g 31q 31x 0734-2101x 1520-8559
856	4	u http://dx.doi.org/10.1116/1.4812717
856	4 8	u https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-222491
856	4 8	u https://doi.org/10.1116/1.4812717

Av författaren/redakt...: Mullings, Marja ...; Hägglund, Carl, ...; Bent, Stacey F.

Om ämnet

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.