onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-257840"
Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-257840" > Helium ion backscat...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Helium ion backscattering analysis employed to study surface damage and contamination of RF sputter etched silicon
-
- Hesselbom, H (författare)
- Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
- (creator_code:org_t)
- 1978
- 1978
- Engelska.
- Ingår i: Physica Scripta. - 0031-8949 .- 1402-4896. ; 18, s. 400-
- Tidskriftsartikel (refereegranskat)
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Hesselbom, H
- Artiklar i publikationen
- Physica Scripta
- Av lärosätet
- Uppsala universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
